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便攜式傅里葉紅外氣體分析儀
簡要描述:

便攜式傅里葉紅外氣體分析儀廣泛用于半導體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。 MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜,故出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便,易于維護。

  • 產(chǎn)品型號:MKS MultiGas 6030
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-12-20
  • 訪  問  量:12604

詳細介紹

便攜式傅里葉紅外氣體分析儀,高光通量取樣單元,分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。 MultiGas 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。

特點和優(yōu)點
10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體;
易于移動從一處移到另一處,設置僅需幾分鐘;

同時分析和顯示多達30種氣體;
分析儀儲存了校準光譜,省去了氣體筒的成本;
取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度。


應用
煙囪監(jiān)測器
工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

空氣環(huán)境分析
線性檢測器,確保所有分析儀
維持在相同的校準條件下頻率和分辨率診斷,確保校準恒定
提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓即可操作
氣體純度分析 燃燒排放監(jiān)測 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測


光譜分析
Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件,它能同時分析和報道許多混合物的濃度,這個能在個人電腦上運行的軟件,能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成,進行瞬時分析。

便攜式傅里葉紅外氣體分析儀規(guī)格

分析儀主機
測試技術 傅利葉變換紅外光譜
可測試氣體或水蒸氣 絕大多數(shù)分子除了氮氣,氧氣和氫氣
范圍 濃度從10ppb到
傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外
光譜分辨率 0.5 - 128cm-1
掃描速度 每秒1次在0.5cm-1
掃描時間 1 – 300秒
紅外源 碳化硅在1200℃
參考激光 氦氖( 15798.2cm-1)
檢測器 液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)
清潔(Purge)壓力 20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的
干燥空氣
光學系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的
干燥空氣
壓力傳感器 MKS Baratronò 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接 Swagelokò 快速接頭
電腦要求 臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰ò處理器,微軟Wingdowsò
XP操作系統(tǒng), 1024 X 768顯示
通訊口 RJ-45交叉以太網(wǎng)
輸出選件 XML,模擬, AK,其他
尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深
安裝 可安裝于19英寸標準機柜
電源 110V或220V, 50/60hz, 3A
重量 50公斤
分析儀采樣參數(shù)
采樣溫度 室溫至200℃(取決于校準溫度)
采樣速流 0.2 – 10升/分
采樣壓力 0.01 – 4大氣壓(取決于校準壓力)
分析儀氣體室
結構 鍍鎳鋁,或316不銹鋼焊接選件
接頭 Swagelokò或VCRò
采樣壓力 1個大氣壓(取決于校準壓力)
管道 加熱不銹鋼
鏡 鋁襯底鎳板,鍍金
窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)
“O"型密封圈 Vitonò, (其他可選)


5.11米氣室, MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體低檢測數(shù)據(jù)為:

名稱

分子式

20/20?氣室, 5分鐘檢測
                      時間下的檢測值

20/20?氣室, 1秒鐘檢測時
                      間下的檢測值

氨氣

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

氯化氫

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm







 

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