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MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀產(chǎn)品說明書
發(fā)布時(shí)間:2024/11/5      點(diǎn)擊次數(shù):400

描述 

MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜,故 省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡便,易于維護(hù)。 

MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì), 高光通量取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MKS MultiGasTM6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。

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